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SJ6000激光干涉儀檢測設(shè)備以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
性能特點
1.測量精度高、速度快,穩(wěn)定性好
①使用高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位,分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù),測量速度可達到4m/s。
④配合有環(huán)境補償單元,在環(huán)境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計,避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應用范圍廣
①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析
③可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù),進行動態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門的軟件界面開發(fā)工具,軟件界面人性化,操作簡單。
②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中,更方便用戶切換測量類型。
③向?qū)讲僮鳎鞒糖逦蠂鴥?nèi)用戶的使用習慣。
4.性價比高
性能達到了國外儀器的水準,價格是國內(nèi)儀器的良心價。
SJ6000激光干涉儀檢測設(shè)備具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。除了環(huán)境適應能力好,還可以進行動態(tài)高速測量,選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。